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空檢漏的意義？

答：真空系統的極限真空決定于系統的抽速和漏氣量，故在抽速一定時(shí)，漏氣量就決定了真空度，欲使系統達到預定的極限真空，必須通過(guò)檢漏和堵漏使系統的漏氣量控制在允許漏率范圍內。從原理上講，真空檢漏可分為哪兩大類(lèi)？答：可以分為：1）壓力檢漏法，包括①充氣檢漏法，②鹵素檢漏法，③氨檢漏法。2）真空檢漏法，包括①高頻火花檢漏法，②真空計檢漏法，③質(zhì)譜儀檢漏法。

簡(jiǎn)述真空泵的抽氣原理？答：1）利用壓縮作用將氣體排除到泵外。a.機械周期式膨脹壓縮，b.蒸汽流粘滯牽引壓縮，c.剛性表面的牽引壓縮。2）利用吸附作用將氣體束縛于泵內。a.利用電離吸氣作用，b.利用物理吸附和化學(xué)吸附作用。

真空計，又叫真空規。半導體設備中，不可避免的用到真空計，主要是用來(lái)測量某一個(gè)腔室或者管道中的壓強。

是什麼？能做什么？怎么用？1，是什麼？真空計，字面意思，計量真空度的儀器。2，能做什么？真空計主要用來(lái)測量真空，或者叫測量壓強大小。腔室里面氣體多，壓力大，壓強大，真空計顯示的數值就大；反之，真空計顯示的數值小。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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真空計，又叫真空規。半導體設備中，不可避免的用到真空計，主要是用來(lái)測量某一個(gè)腔室或者管道中的壓強。

是什麼？能做什么？怎么用？

1，是什麼？真空計，字面意思，計量真空度的儀器。

2，能做什么？真空計主要用來(lái)測量真空，或者叫測量壓強大小。腔室里面氣體多，壓力大，壓強大，真空計顯示的數值就大；反之，真空計顯示的數值小。

3，怎么用？一般就是把真空計的物理接口，KF接口或者是螺紋接口接到腔室上，然后把真空計的電氣接口接到電腦或者的顯示儀表上。這樣就可以測量腔室的真空度，也能看到真空度具體的數值了。

4，注意，真空計是有分類(lèi)的，有的適合測量低真空，也就是壓強大一些的；有的適合測量高真空，也就是壓強小一些的。一般常用的是熱電偶真空計，皮拉尼真空計，冷陰極真空計，電離真空計。

自己接觸過(guò)的真空計有電離式，皮拉尼式和冷陰極式真空計。

具體各自的工作原理，大家可以搜一搜，如果需要，我下次補上，一塊學(xué)習。

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為解決持續變動(dòng)的市場(chǎng)的需求，該系列產(chǎn)品非常近新增加了大量選零配件。先前，該系列產(chǎn)品真空泵規僅配置RS-485插口，而如今，還裝有工業(yè)生產(chǎn)千兆以太網(wǎng)Profinet和EtherCAT。與傳統式計算機接口對比，他們具備數據信息傳輸速度極高、連接機器設備顯著(zhù)大量的優(yōu)勢，因此可以協(xié)助公司加快完成工業(yè)生產(chǎn)4.0總體目標。ProfiNet和EtherCat插口除此之外，除開(kāi)先前選用模擬輸出的版本號，現還裝有電容傳感器真空泵規CCT。

該真空計有著(zhù)不會(huì )受到汽體類(lèi)型危害和測量精度高的優(yōu)點(diǎn)，并可用以表層的鍍膜全過(guò)程的準確過(guò)程控制、低溫干燥或校正試驗室。電容傳感器真空泵規CCT靠譜的瓷器技術(shù)性元器件具備良好的有機化學(xué)耐心和非常低的零點(diǎn)誤差?，F階段，有溫度補償型和45℃加溫型二種規格型號可挑選 。

電容傳感器真空泵規CCT超濾裝置或是機械泵調節時(shí)常常必須查詢(xún)機械泵的真空值，每一個(gè)調試工程師都期待有一款便攜式精巧而且結實(shí)耐用的真空計。為達到這類(lèi)要求，inficon公布了一款攜帶式的真空計套服inficon?，F階段正限營(yíng)銷(xiāo)，價(jià)稅合計5000元套。套服包含：數字萬(wàn)用表尺寸的便攜式控制板，根據可伸縮式銅線(xiàn)聯(lián)接的真空泵規管，也有便捷帶上的迷你型行里箱。

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